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NOVELLUS为32nm PVD铜阻档层∕晶种层的可扩展性推出采用HCM IONX技术的INOVA NExT系统

中国上海—诺发系统有限公司（Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代码：NVLS）日前宣布推出采用 HCM IONX技术的...

NOVELLUS INOVA NExT HCM IONX PVD 2007-07-27

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